Базовые блоки матричных коммутаторов с малыми токами утечки (B2200A/B2201A/E5250A)
Требования промышленности
Проведение всех параметрических измерений, необходимых для многочисленных тестовых структур на полупроводниковой пластине, может оказаться длительным, трудоемким и дорогостоящим процессом. Учитывая, что цена устройств для конечных потребителей продолжает падать, от разработчиков требуется снижение затрат даже на лабораторные испытания. До сих пор инженеры и ученые, работающие над созданием перспективных технологических процессов, стояли перед выбором: использовать параметрический анализатор с позиционерами на установке зондового контроля полупроводниковых пластин, что ограничивает возможности по автоматизации испытаний, или использовать матричный коммутатор и зондовые платы, что может привести к ухудшению разрешающей способности анализатора. Использование матричных коммутаторов с полуавтоматическими или полностью автоматическими установками зондового контроля полупроводниковых пластин позволяет автоматизировать параметрические испытания и исключить необходимость ручной перестановки пробников каждый раз, когда требуется протестировать новое устройство. За счет этого можно добиться снижения как времени испытаний, так и их стоимости. Компания Agilent предоставляет широкий выбор матричных коммутаторов, обеспечивая гибкость конфигурации и минимизацию затрат.
Гибкость конфигурации матричных коммутаторов
Базовые блоки матричных коммутаторов с малыми токами утечки позволяют расширить измерительные возможности параметрических анализаторов (таких как Agilent B1500A, 4155C или 4156C) при создании решений для автоматизированных измерений. Эти решения обеспечивают гибкость измерений и возможность автоматизации, свойственные матричным коммутаторам и решениям на основе зондовых плат (проб-карт) без ухудшения производительности измерений. Семейство матричных коммутаторов Agilent предоставляет возможность выбора именно того решения, которое наилучшим образом ответствует потребностям тестирования. Спектр продукции включает разнообразные опции, обеспечивающие различное разрешение при измерении силы тока и конфигурации ввода/вывода. Кроме того, все решения включают мощные возможности по компенсации искажений при измерении емкости, возникающие из-за различия длин сигнальных трактов матричного коммутатора.
- Выбор разрешения, соответствующего потребностям тестирования
Пользователь может выбрать разрешение при измерении силы тока 1 фА или 10 фА, чтобы получить именно то решение, которое наилучшим образом ответствует его потребностям. Использование матричного коммутатора не приводит к ухудшению измерительных возможностей параметрического анализатора, вызываемому утечкой сигнала. - Гибкие конфигурации ввода/вывода
Доступные опции обеспечивают широкий выбор конфигураций: от недорогих измерительных решений, не поддерживающих измерения по схеме Кельвина, до конфигураций, включающих до 4 модулей источников/измерителей, обеспечивающих измерения по полной схеме Кельвина. Кроме того, пользователь может выбрать конфигурацию с различным количеством выходных каналов и нужным типом проб-карты. Матричные коммутаторы B2200A, B2201A и E5250A (с установленными картами E5252A) поддерживают конфигурации с 12, 24, 36 и 48 выходными каналами. Матричный коммутатор E5250A (с установленными картами E5255A) поддерживает конфигурации с 24, 48, 72 и 96 выходными каналами. До четырех базовых блоков E5250A могут быть объединены в систему с 384 каналами. - Точное измерение емкости без искажений
При измерении емкости длина кабеля оказывает существенное влияние на результаты измерений. Матричные коммутаторы Agilent обеспечивают компенсацию искажений при измерении емкости, вносимых длиной сигнального тракта матричного коммутатора, что позволяет выполнять точные измерения емкости.
